掃描式電子顯微鏡以其高分辨率、大放大倍數(shù)、樣品制備簡單和綜合分析能力強等特點，在材料科學、生物醫(yī)學、地質學、電子元件檢測以及文物保護與鑒定等領域發(fā)揮著重要作用，是現(xiàn)代科學研究和工業(yè)生產(chǎn)中不可少的重要工具。
掃描式電子顯微鏡的作用：
1.材料科學研究：在金屬材料中，可用于觀察金屬的微觀結構，如晶界、位錯等缺陷，幫助研究材料的力學性能和加工性能。對于非金屬材料，如陶瓷、高分子材料等，可以觀察其表面形貌、孔隙結構等，為材料的制備和應用提供依據(jù)。
2.生物醫(yī)學領域：可對細胞、細菌、病毒等生物樣本進行觀察，獲取其形態(tài)、大小、結構等信息，有助于疾病的診斷和治療。還可用于觀察生物組織的結構，如血管、神經(jīng)等，為醫(yī)學研究和臨床應用提供重要的參考依據(jù)。
3.地質學研究：能夠觀察巖石、礦物的微觀結構和組成，幫助地質學家了解地球的內部結構和演化過程。例如，通過掃描電鏡可以觀察到巖石中的礦物顆粒、孔隙、裂縫等微觀特征，為油氣勘探、礦產(chǎn)資源開發(fā)等提供重要的信息。
4.電子元件檢測：可用于檢測電子元件的表面缺陷、內部結構、焊接質量等，確保電子元件的可靠性和穩(wěn)定性。在半導體芯片制造中，掃描電鏡可以用于觀察芯片的微觀結構和電路圖案，幫助工程師進行芯片的設計和制造。
以下是掃描式電子顯微鏡的測定步驟：
1.準備工作：確保室內環(huán)境干燥且無塵，接通掃描電子顯微鏡的電源，并使其處于合適的工作溫度。
2.樣品制備：將分散好的樣品滴于銅片上，干燥后將載有樣品的銅片粘在樣品座上的導電膠帶上(對于大顆粒樣品可直接將樣品粘在導電膠帶上)。對于導電性不好的樣品必須蒸鍍導電層，通常為蒸金。將樣品座置于蒸金室中，合上蓋子，打開通氣閥門，對蒸金室進行抽真空。選擇好適當?shù)恼艚饡r間，達到真空度定好時間后加電壓并開始計時，保持電流值，時間到后關閉電壓，關閉儀器。取出樣品。
3.設置成像參數(shù)：使用控制軟件，設置所需的成像參數(shù)，包括放大倍數(shù)、電子束電壓、檢測器類型、掃描速度等。這些參數(shù)會影響圖像的分辨率和對比度。
4.觀察與調焦：啟動電子束并開始成像，在成像過程中實時觀察屏幕上的圖像，確保獲得所需的圖像質量。必要時根據(jù)觀察結果進行參數(shù)調整，包括調整放大倍數(shù)、電子束電壓、焦距等，以獲得更清晰的圖像。同時，調節(jié)聚焦旋鈕和像散旋鈕，使圖像達到最大清晰度。
5.數(shù)據(jù)記錄與保存：SEM軟件通常允許捕獲圖像和數(shù)據(jù)，將其保存在計算機中或導出到其他文件格式中以供進一步分析。
6.結束操作：成像完成后，關閉電子束并保存所有設置。移除樣品并將其妥善存儲。關閉掃描電鏡并斷電。
