臺(tái)式掃描電鏡是一種緊湊型、操作簡(jiǎn)便的電子顯微設(shè)備，其核心原理與傳統(tǒng)落地式掃描電鏡(SEM)一致，但通過(guò)小型化設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了更高的靈活性和易用性，通過(guò)高能電子束掃描樣品表面，利用電子與樣品相互作用產(chǎn)生的信號(hào)(如二次電子、背散射電子、特征X射線(xiàn)等)進(jìn)行成像和分析。
-二次電子(SE)：反映樣品表面形貌信息，分辨率高，適合觀察微觀結(jié)構(gòu)的細(xì)節(jié)。
-背散射電子(BSE)：與樣品成分相關(guān)，可區(qū)分不同元素的區(qū)域，分辨率約8nm20kV。
-特征X射線(xiàn)：用于元素分析(結(jié)合EDS能譜儀)，可識(shí)別樣品中的元素組成。
-電子槍發(fā)射的電子束經(jīng)電磁透鏡聚焦后，通過(guò)偏轉(zhuǎn)線(xiàn)圈逐點(diǎn)掃描樣品，探測(cè)器收集信號(hào)并轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，通過(guò)計(jì)算機(jī)生成高分辨率圖像或元素分布圖。
臺(tái)式掃描電鏡的使用注意事項(xiàng)：
-樣品必須干燥、無(wú)油、無(wú)磁，且具有良好的導(dǎo)電性。對(duì)于不導(dǎo)電的樣品，要進(jìn)行適當(dāng)?shù)膶?dǎo)電處理，否則會(huì)影響成像效果甚至損壞儀器。
-樣品的尺寸要符合儀器的要求，不能過(guò)大或過(guò)小，以免影響觀察或無(wú)法放入樣品室。
-在操作過(guò)程中，要嚴(yán)格按照儀器的操作規(guī)程進(jìn)行，避免誤操作導(dǎo)致儀器損壞。例如，在抽真空和恢復(fù)常壓時(shí)，要緩慢操作，避免因氣壓變化產(chǎn)生沖擊而影響儀器內(nèi)部部件。
-各旋鈕、開(kāi)關(guān)的使用要輕柔，不可用力過(guò)猛，以免損壞儀器。
-定期檢查真空系統(tǒng)的密封性，確保無(wú)漏氣現(xiàn)象。如發(fā)現(xiàn)真空度下降明顯或無(wú)法達(dá)到工作要求，應(yīng)及時(shí)查找原因并進(jìn)行維修。
-注意真空泵的運(yùn)行情況，定期更換真空泵油，保持真空泵的良好性能。
-在關(guān)閉電子槍后，要及時(shí)關(guān)閉相關(guān)電源，防止電子槍受到意外的電壓沖擊。
-臺(tái)式掃描電鏡應(yīng)放置在干燥、通風(fēng)、無(wú)灰塵、無(wú)振動(dòng)的環(huán)境中，避免陽(yáng)光直射和溫度過(guò)高或過(guò)低。環(huán)境的濕度一般應(yīng)控制在40~60，溫度應(yīng)保持在20℃~25℃。
-儀器周?chē)苊庥袕?qiáng)磁場(chǎng)、強(qiáng)電場(chǎng)等干擾源，以免影響儀器的正常工作和測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。
